美國 Bruker

探針輪廓儀

從傳統的二維表面粗糙度和台階高度測量，到更高級的三維表面成像和薄膜應力測試，Dektak 台階儀適用面極廣，為用戶提供准確性高，重復性佳的測量結果。在教育、科研領域和半導體制程控制，Dektak 廣泛用於膜厚、應力、表面粗糙度和面形的測量。近年來，在迅速成長的新能源領域 (太陽能行業，LED 行業，觸摸屏行業)，Dektak 以其優異性能被多數主要的工廠采用，作為工藝控制的必要手段。

通過革新設計單拱龍門式設計使系統更穩定與此同時實現測量重復性達到 5 埃以下 (<5Å) 的業內最高水平。 這一裡程碑式產品源自 Dektak 系列占據業界領先地位長達四十年的優異表面測量技術。 保持業界一貫領先優勢，首次采用高清真彩相機提高圖像分辨率，而 64 位數據並行處理軟件則加速分析速度，使用戶易於使用。

Dektak XT 探針式表面輪廓儀

• 直觀化的 Vision64™ 軟件簡化了用戶界面的操作過程

• 獨特的傳感器設計使在單一平台上即可實現超微力和較大的力測量

• 自對准的探針設計使用戶可以輕而易舉地更換探針

• 探針式輪廓儀的全球領導者

• 性能卓越，物超所值

• 完備的零配件為您優化或延伸機台的多種應用提供保障 

Dektak XTL™ 探針式輪廓儀 

大面板測量系統 - 綜合測量用於高產量，高精密生產控制 !

新 Dektak XTL™ 手寫筆分析器提供極其精確，可重復的測量範圍廣泛的應用。憑借其容納樣品多達 350mm x 350mm 能力，這系統終於帶來了傳說中的 DEKTAK 表現為 200mm 和 300mm 晶圓制造。