芯片拾取及放置系统 (Die Pick & Place Systems)
AP+ 全自動芯片分選系統
適用芯片尺寸: | 托盤放置:0.2 mm2 - >25 mm2載帶放置:0.5 mm2 - 最大 17 mm2 |
輸入: | 採用載帶框或蘭膜環,晶圓直徑最大至 Ø300 毫米 |
輸出: | 載帶 (寬度 8 至 24 毫米,熱封或壓封),Waffle packs 及 Gel-Paks (2"- 4"),JEDEC 盤,載帶框,蘭膜環或特別定制 |
放置精度: | ± 12.5 微米 (重復精度) |
拾取原理: | 表面或頂部邊緣真空拾取 (採用:Rubber, Vespel, Tungsten carbide, elastomer) 可選非表面接觸的 Vespel edge grip |
產能: | 根據不同產品,最短 1.3 秒/循環 |
半自動型 DE35-ST
• 適用於 6,8 英寸晶圓
• 最小 200 微米芯片拾取
• 可選配的非表面接觸拾取功能
• Waffle Pak, Gel-Pak® 及 Film Frame 輸出
• 可選配背面,側面檢測
• 可選配芯片轉向功能
• 根據不同產品,產量可達 500-1200 UPH
• 10 分鐘以內快速更換
拾取大片 GaAs Die