美國 Heller Industries 

壓力固化爐 (PCO) 

在晶圓黏結工藝，特別是芯片黏著和底部填膠應用中，壓力固化爐 (PCO)，或壓熱器，可以減少微小氣泡和增加黏附強度。

壓力固化爐是通過向一個鋼化容器裡注入高壓氣體，並且使用強制對流氣體進行加熱和冷卻來工作的。加熱器、熱交換器和吹風馬達均位於壓力容器的內部。

當固化工藝完成時，壓力容器將自動釋放壓力至 1atm 並冷卻。

工藝規格：

• 工藝時間  ：一般 120 分鐘或用戶特制

• 工作溫度  ：60°C ~ 200°C

• 最高溫度  ： 220°C

• 工作壓力  ：1 bar - 10 bar

• 容量      ： 24 組框架 (通常)

• 冷卻方式  ：PCW (17°C – 23°C)

• 冷卻水壓力：2 kg f/cm2 ~ 4 kg f/cm2 

在線式 (固化) 垂直型爐

擁有全對流和超省氮等先進技術，可滿足客戶各種固化需求。

在線式垂直爐實現環氧膠固化工藝在 3 個極大優勢：

• 在線式自動進出產品提高了產量，減少了離線式固化爐所需的反復進出板的人工

• 在線式由於無需頻繁開啟和關閉爐門而節省了時間和熱量損失，所以工藝一致性好而保證了產品質量。

• 而垂直爐只需要 6 英尺大的占地面積即可實現 4 小時的固化工藝，從而節約了工廠車間裝修成本。

使用 Heller 公司的垂直 (固化) 爐使您的工藝產能提高到一個新高度。

Heller 在線式固化垂直爐將產品從上道裝配線上送入垂直爐內，最後被送入後道流水線，整個過程的最短循環時間為 25 秒。

獨立時間控制和溫度時間控制的 4 個內部加熱區可以完成任何固化或密封用曲線，包括兩段式固化曲線。固化時間可設定為幾分鐘到幾個小時不等。

Heller 垂直爐具有輸送裝置的寬度可調節性、載具多樣性、業內唯一的儲存室接口、往復傳輸機制等特點。

應用：

        • Die attach 

• Flip Chip Underfill

• COB 封裝

Model 755 垂直式固化爐