手動晶圓，基板，光罩清洗機

Model SCSe124

高效型 SCSe124 是晶圓和基板做亞微米清洗的理想解決方案。具有可靠和成本效益的系統及採用經過驗證的清洗技術。SCSe124 可以配置幾種不同的清潔選項，形成高壓去離子水，霧化噴霧噴嘴，刷子，超聲波噴嘴等等。快速有效的乾燥技術結合了可變旋轉速度，另可選配加熱去離子水，氮氣輔助或加熱燈。

SCSe124 具有一個微處理器控制器，允許存儲器中最多 10 組清洗參數。

特徵：

• 可清潔 10 英寸直徑基板。

• 主軸裝配有直流無刷馬達（可升級更多控制）。

• 可調手臂速度和行程位置。

• 獨立聚丙烯腔體。

• 微處理器控制能夠中保留 10 清洗參數。

• 內置安全控鎖。

• 按鈕式上蓋 打開/關閉。

• 觸控式圖形用戶界面（GUI），易於編程和螢幕顯示錯誤報告。

• 最多可配置 2 個清潔手臂。

另有：自動晶圓，基板，光罩清洗機可選。

濕式清潔台/批量晶圓，基板，光罩清洗機可選。