Veeco

Veeco(Cambridge Nanotech)，2003年成立於哈佛大學，05年搬到Boston並生產出Thermal ALD - Savannah，之後生產出Plasma ALD – Fuji、批量生產ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購，並更新了Batch HVM ALD – Firebird。至今為止，Veeco在ALD設備已有十多年經驗，全球已安裝五百多台ALD設備。